在目前的藍寶石端面磨削領域中,通常藍寶石磨削要求鏡面。由于藍寶石圓晶片屬于硬脆材料,在磨削的過程中容易損壞,所以再藍寶石圓晶片的端面磨削過程中不能采用高轉速磨削加工。因為在應對像藍寶石圓晶片這種高精度材質,超硬磨具很難發揮作用。端面磨砂輪損耗過快、鈍化過快。端面磨砂輪的氣孔容易堵塞、磨粒脫落加快,故很難磨削。
為了解決以上超硬磨具無法加工藍寶石圓晶片的問題傳統的磨削方法采用以下方案進行解決:用游離磨削液供給到工件磨削表面,同時砂輪轉速采用6000rpm對藍寶石晶體圓片進行磨削。種方法進行磨削由于工件的硬度和砂輪的硬度差較小,并且砂輪轉速在6000rpm高速旋轉,端面磨砂輪自銳性差,砂輪鈍化較快,砂輪的鋒利程度變差,則由于鋒利程度較差的砂輪顆粒的高速旋轉,產生使工件的磨削面過度磨損等的脆性破壞,工件的磨削面的表面粗糙度變差。另外,由于鋒利程度較差的砂輪在高速旋轉,磨削中的工件和卡盤的發熱量增多,由于兩者在熱膨脹的狀態下磨削,故磨削后的工件的平面度、表面粗糙度低,根本無法磨削出鏡面。
1:端面磨床;2:卡盤座;3:砂輪;4:砂輪軸;5游離磨料;6:供給機構;8:滴下管路;9:噴射噴嘴;w:工件
今天向大家介紹一種采用游離磨料進行磨削藍寶石晶圓片,并且通過杯型的端面磨砂輪磨削工件并砂輪采用低轉速旋轉。端面磨砂輪轉速為500m/min。游離磨料從工件上滴下或噴霧。也可以采用噴射噴嘴噴出的空氣吹向處于由滴下管路滴下途中狀態,一邊將磨削液吹成霧狀,一邊供給至工件的磨削部。
這種采用游離磨削進行磨削,同時采用端面磨砂輪低轉速工作的方法可以解決高精度加工硬脆材料、難切削材料等的工件,極大地提高加工率。